Dynax 65AX-089 320mm晶圆传输机器人套装

产品类型:晶圆传输机器人组件

适用晶圆直径:320毫米

机器人类型:传输机器人

工作范围:320毫米

定位精度:±0.02毫米

重复定位精度:±0.01毫米

最大负载能力:5公斤

驱动方式:伺服电机驱动

控制系统:PLC控制器

防护等级:IP65

重量:约20公斤

尺寸:长x宽x高（毫米）：500x300x400

    Dynax 65AX-089 320mm晶圆传输机器人套装是专为半导体制造行业设计的高精度自动化设备。其采用先进的伺服电机驱动系统，能够实现精确的晶圆传输，确保每一步操作都达到最高标准。该套装具备±0.01mm的定位精度和±0.005mm的重复定位精度，确保了传输过程中的高稳定性。最大传输速度可达500mm/s，负载能力为10kg，适用于多种半导体制造场景。此外，该机器人套装还配备了高性能PLC控制器，可实现灵活的编程控制和实时监控。防护等级达到IP65，能够在恶劣环境下稳定运行。工作温度范围为-20℃至+60℃，存储温度范围为-30℃至+80℃，确保了设备在不同环境下的可靠性和耐用性。整体重量约为50kg，便于安装和维护。